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연구과제 수행성과

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EPD/OES
사업명 국제공동기술개발사업
주관부처 산업자원부
기간 2005~2007 역할 주관기관
- Wet Etching 공정 종료점 검출 장비 개발 완료
- FPD 제조 공정의 자동화 기여
- 기술 확장성이 우수한 OES 및 신호 처리 기술 확보


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