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연구과제 수행성과

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반도체 Wafer Edge Monitoring
사업명 산학협력중심대학육성사업
주관부처 교육과학기술부/지식경제부
기간 2008~2009 역할 참여기업
- 범용 Flat Zone Aligner 개발
- Edge Crack Detector 기술 확보
- FPD, Solar 분야 표면 모니터 장비로의 응용 기술 확보

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