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연구과제 수행성과

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공정 진단용 고신뢰성 표준 SPOES
사업명 산학연협력기업부설연구소지원사업
주관부처 중소기업청
기간 2010~2012 역할 주관기관
- SPOES의 방전 압력 범위 확대
- SPOES의 성능 및 신뢰도 대폭 향상
- 표준화, 고품질 대량 생산 출고 기반 구축


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