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연구과제 수행성과

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소형 DF-RF-PS 모듈
사업명 산학연공동기술개발사업
주관부처 중소기업청
기간 2012~2013 역할 참여기업
- 공정 모니터용 챔버 최초로 Dual RF Frequency 상용화
- 공정 변수에 대한 대응 용이로 기술적 경쟁력 확보
- 바이오, 냉동기기 제조 분야에도 활용 가능성 창출


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