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연구과제 수행성과

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게시판 목록
번호 사업명/과제명 주관부처 기간
11 ((산학연기술개발사업))
다층 다종 Etch 공정 DFT-EPD 개발
중소기업산학협력센터 2015~2016
10 (산학협력선도대학(LINC)육성사업)
광계측 분야
교육과학기술부 2013~2014
9 (산학연공동기술개발사업)
소형 DF-RF-PS 모듈
중소기업청 2012~2013
8 (산학연협력기업부설연구소지원사업)
공정 진단용 고신뢰성 표준 SPOES
중소기업청 2010~2012
7 (산학협력중심대학기술개발사업)
무인원격 통합 기상자료 수집
교육과학기술부/지식경제부 2010~2011
6 (전략기술개발사업)
실시간 진단용 고기능 핵심 모듈 및 시스템
지식경제부 2008~2011
5 (첨단장비활용기술개발사업)
초소형 Plasma Module
중소기업청 2008~2010
4 (산학협력중심대학육성사업)
반도체 Wafer Edge Monitoring
교육과학기술부/지식경제부 2008~2009
3 (산학연공동기술개발컨소시엄사업)
공정 모니터 및 이상 상태 검출
중소기업청 2007
2 (성장동력/중기거점/차세대신기술개발사업)
휴대용 소형 로봇
산업자원부 2006~2010
1 (국제공동기술개발사업)
EPD/OES
산업자원부 2005~2007
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