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챔버 플라즈마 모니터

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Pulsed Plasma Monitor
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2PM (Pulsed Plasma Monitor)
Pulsed Plasma를 사용하는 Etching, Deposition 등의 공정에서 실제 Pulse 파형이 정확히 유지되고 있는가를 실시간 Monitoring 하는 광학 센서
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