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Chamber Plasma Monitor
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Contents
Detail
AEGIS Series
内置小型Plasma Module,安装在半导体和显示器制造设备的排气line上,分析排出的气体,对工程变化状态进行monitoring
OPTI Series
半导体,显示器制造工程chamber 内部的plasma通过光谱分析方法进行分析,自动检测工程的结束点,或者对工程的变化状态进行monitoring
NEFL Series
Filter type EPD detects variation of specific light distributed by the band-pass filter.
2PM (Pulsed Plasma Monitor)
Etching, Deposition等工程使用Pulsed Plasma,对于实际上pulse波形是否正确维持,进行实时monitoring 的光学传感器
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