NANOTECH, Inc.

팝업레이어 알림

팝업레이어 알림이 없습니다.

KOR

ENG

CHN

KOR

SCROLL DOWN

NANOTECH

Best Product & Reliable Service

Products

고품질 효율 생산을 위한 다양한 공정 진단 센서 솔루션을 제공합니다.

SPOES
(Self-Plasma OES)

· 실시간 leak 검출
· CVD, ALD, Etch, diffusion, All TM

OES.EPD
(Sensor head)

· Endpoint detection, Plasma 분광분석
· Etch, plasma treatment, PR/ACL strip, PECVD

OES.EPD
(Local Controller)

· Endpoint detection, Plasma 분광분석
· Etch, plasma treatment, PR/ACL strip, PECVD

Signle F-EPD

· Endpoint detection
· PR/ACL strip

Dual F-EPD

· Endpoint detection
· PR/ACL strip

Targeted GD

· Targeted gas detection
· CVD, ALD, Etch

Plasma monitor
(Single sensor type)

· Arc detection, pulsed plasma property
· Etch, plasma treatment, PR/ACL strip

Plasma Monitor
(1D sensor type)

· Intensity distribution
· Etch, plasma treatment, PR/ACL strip

NANOTECH

Global Leader in Optical Solutons

(주)나노텍은 광학 기술, 플라즈마 진단 기술 등을 이용한
센서 제품군을 개발해 온 기술 중심의 벤처 기업으로서 국내외 반도체/디스플레이
양산 제조 공정의 공정 진단 센서로 납품되고 있습니다.

Our Technology

광학기술

Optical Technology

광원·광학 설계 및 기술, 광 Delivery 효율화 기술,
국내 최고의 분광 분석 기술을 통하여,
보다 완성도 높은 서비스를 제공합니다.

플라즈마 제어·분석 기술

Plasma Control/Analysis Technology

플라즈마 방전 조건 최적화 기술, 진공 장비 설계 기술,
신호 처리 및 제어 설계 기술, Softrware 설계 및 개발 기술 등
제품 통합을 위한 기술을 보유하고 있습니다.

상용화 및 서비스 능력

Service Ability

사용 환경에 충실한 Customizing 능력,
각종 설계 및 제작 경험 풍부, 전문적인 기술지원 및
데이터 분석능력으로 최고의 서비스를 제공합니다.

확인하기

About
company

(주)나노텍은 1993년 레이저 광학, 광전자 분야의 신기술 개척을 목적으로
한 알텍을 설립하여 1998년 법인 전환 후 현재까지 광계측 센서 분야 기술 중심의
전문 기업으로 꾸준히 성장하고 있는 기업입니다.

연구소

나노텍의 광전자 연구소를
소개해드립니다.

인증서

나노텍의 인증서/수상실적
현황을 알려드립니다.

문의하기

나노텍에 대해 궁금하신 점을
문의하실 수 있습니다.

(주)나노텍 대표이사 차동호 사업자등록번호 109-81-54438 TEL 82-2-837-8867~8 FAX 82-2-837-8820 E-mail sales@nanotek.com(기술·영업)nanotek@nanotek.com(대표) 본 사 (16882) 경기도 용인시 수지구 죽전동 1360-1 (대지로 261-1) 광전자연구소 (13493) 경기도 성남시 분당구 판교역로240 A동 515호 (삼평동, 삼환하이펙스)